產品名稱:耐馳 熱反射法薄膜導熱系數測量儀
產品型號:Nano TR
產品特點:
耐馳 熱反射法薄膜導熱系數測量儀的詳細資料:
熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統,可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數,如:熱擴散系數、導熱系數、蓄熱系數和界面熱阻。由于激光閃射時間僅為納秒(ns)量級,甚至可達到皮秒(ps)量級,此系統可測量厚度低至10nm 的薄膜。同時,系統提供不同的測量模式,以適應不同的基片情況(透明/ 不透明)。
技術參數:
NanoTR |
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溫度范圍 |
RT |
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測量模式 |
RF/FF |
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樣品尺寸 |
10*10mm … 20*20mm |
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薄膜厚度 |
RF:
金屬:1 … 20μm
陶瓷:300nm … 5μm
聚合物:30nm … 2μm
FF:> 1μm |
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基片厚度 |
< 1 mm |
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熱擴散溫升時間 |
10ns … 10μs |
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熱擴散系數(mm2/s) |
0.01…1000mm2/s |
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操作系統 |
Windows 7 |
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